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TSMC는 A14/A16 공정 기술에 대한 높은 NA EUV 리소그래피를 포기합니다.

북미 기술 심포지엄에서 TSMC는 A14 (1.4nm) 공정으로 칩을 제조하기 위해 높은 NA (높은 수치 조리개) EUV 리소그래피 기계를 사용할 필요가 없다고 밝혔다.

행사 기간 동안 TSMC는 A14 프로세스를 도입하고 2028 년에 생산에 들어갈 것으로 예상된다고 밝혔다. 이전에 TSMC는 2026 년 후반에 예정된 A16 프로세스도 높은 NA EUV 장비를 요구하지 않을 것이라고 발표했다.

TSMC의 비즈니스 개발 담당 수석 부사장 인 Kevin Zhang은 다음과 같이 말했습니다 : "2nm에서 A14에서 A14에서는 High NA를 사용할 필요는 없지만 유사한 프로세스 복잡성을 계속 유지할 수 있습니다."

이것은 반도체 파운드리 시장에서 TSMC와 Samsung을 따라 잡기 위해 높은 NA EUV를 적극적으로 채택한 Intel과는 대조적입니다.Intel은 ASML의 High Na EUV 리소그래피 머신을 처음으로 받고 2025 년부터 Intel 18A 노드와 함께 칩 생산에 사용할 계획입니다.

TSMC 가이 기술을 채택하지 않은 주된 이유 중 하나는 ASML의 높은 NA EUV 기계의 높은 비용 일 수 있습니다.보도에 따르면, 높은 NA EUV 도구 비용은 약 3 억 8 천만 달러로, 이전 세대 Low Na EUV 기계의 가격의 두 배 이상 이어 약 1 억 8 천만 달러입니다.

TSMC는 여러 패터닝으로 낮은 NA EUV 리소그래피를 사용하는 것이 줄 시간이 약간 증가하더라도 더 비용 효율적이라고 결정한 것으로 보입니다.또한 현재 세대의 장비를 사용하면 TSMC가 입증 된 우수한 수율 성능을 활용할 수 있습니다.

인텔이 최근 에이 기술을 계속 적극적으로 받아 들일 것인지, 특히 회사가 최근에 새로운 CEO 인 Lip-Bu Tan을 임명함에 따라 인텔 파운드리 서비스에 대한 계획은 아직 완전히 공개되지 않았기 때문에 여전히 남아 있습니다.

인텔과 TSMC 간의 잠재적 협업

Lip-Bu Tan은 분석가들에게 최근 TSMC CEO C.C.를 만났다고 말했다.Wei와 TSMC 설립자이자 전 회장 인 Morris Chang.Tan은“Morris Chang과 C.C. Wei는 내 오랜 친구입니다. 우리는 최근에 상생 상황으로 이어질 수있는 잠재적 인 협력 영역을 탐구하기 위해 만났습니다.

TSMC의 A14 프로세스를 사용하는 첫 번째 제품은 백사이드 전력 전달을 채택하지 않습니다.뒷면 전력 전달을 지원하는 A14P 프로세스는 2029 년에 출시 될 것으로 예상됩니다. 고성능 변형 인 A14X는 높은 NA EUV 리소그래피 기술의 후보가 될 수 있습니다.

인텔과 삼성이 최첨단 프로세스 기술에서 TSMC를 따라 잡기 위해 높은 NA EUV 리소그래피를 계속 채택하더라도 여전히 높은 개발 비용의 과제에 직면 해 있습니다.이 지역에서 개척함으로써, 그들은 비용 효율적이되면 높은 Na EUV를 채택하고 구현할 수있는 TSMC의 길을 열어 줄 것으로 예상됩니다.